Carbonitrieren ist dem Prozess des Einsatzhärtens ähnlich, hierbei ist die Oberflächenschicht härter und verschleißfester als die beim Einsatzvergüten.

Die Diffusion von Kohlenstoff und Stickstoff erhöht die Härtbarkeit von unlegierten sowie von niedrig legierten Stählen. Im Vergleich zum Einsatzhärten erhält man mit dem Carbonitrieren eine härtere Oberflächenschicht.